Mikrosystemtechnik
Best Price:
Buy Mikrosystemtechnik for $39.99 at @ Link.springer.com
No coupon is required — this is the standard retail price.
Set a price drop alert to never miss an offer.
Price Comparison
| Seller | Contact Seller | List Price | On Sale | Shipping | Best Promo | Final Price | Volume Discount | Financing | Availability | Seller's Page |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
BEST PRICE 1 Product Purchase
|
|
$39.99 | $39.99 |
|
$39.99 | See Site | In stock | Visit Store |
Product Details
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erlutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien fr Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die mglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflchenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezglich ihrer Kompatibilitt zur Mikroelektronik bewertet.

