Copied Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
In diesem Buch werden zunchst die verschiedenen Typen von Plasmen ausfhrlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfelduntersttzte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockentzen, mit denen heute Oberflchen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfltige Weise modifiziert werden. Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut. Fr die Neuauflage wurde das Buch vollstndig neu bearbeitet und aktualisiert. Hinzu kamen neue Kapitel ber Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppelte Plasmen.
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