Mikrosensorik

Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur Lsung der grundstzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Megren- wurde in den zurckliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit vllig neuen Anwendungsmglichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Zrich und aus einem Skript fr die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der metechnischen Praxis und in der angewandten Forschung ttige Ingenieure knnen das Buch zur Einarbei tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verstndnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. Fr Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die fr die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolithografie oder Silizium-Mikromechanik in knapper Form dargestellt. Fr ein vertiefendes Studium dieses umfangreichen Fachgebietes wird auf die angegebene Literatur verwiesen. Nach der zusammenfassenden Beschreibung der fr alle Mikrosensoren gemeinsamen techno logischen Grundlagen werden in den Kapiteln 3 bis 7 die Sensoren mit ihrer physikalischen Wirkungsweise, ihrem technologischen Autbau und ihren wesentlichen Eigenschaften be schrieben. Die Gliederung erfolgt nach der Art der Megre.