Es ist in den letzten Jahren zu beobachten, dass immer weniger Bcher zu den The men Halbleiterphysik, Halbleiterbauelemente und Fertigung integrierter Schaltungen im deutschsprachigen Raum erscheinen. Dabei ist gerade in Deutschland ein berproportiona les Wachstum der Halbleiter-Industrie (s. z.B. Dortmund, Dresden und Frankfurt 0.) und damit ein zunehmender Fachkrftemangel zu bemerken. Englisch ist in diesem Bereich die Umgangssprache, aber englische bzw. US-amerikanische Bcher sind meist nur schwer zu beschaffen oder entsprechend teuer. Darberhinaus haben deutsche Studierende mit den fachlichen Herausforderungen genug zu tun und haben leider z.T. erhebliche Schwierigkeiten mit englischsprachiger Fachliteratur. Dieses Lehrbuch richtet sich an Studierende an Universitten und Fachhochschulen im Haupt- oder Vertiefungsstudium, die einen Einstieg in die Technologie der integrierten CMOS-Schaltungen suchen oder entsprechendes Hintergrundwissen bentigen. Dabei soll eine Lcke zwischen Bchern zur Halbleiterphysik bzw. zu Halbleiterbauelementen einer seits und solchen zur Fertigung integrierter Schaltungen andererseits geschlossen werden. Der Stoff wird an Hand von zahlreichen Abbildungen illustriert und wann immer mglich mit ausfhrlichen durchgerechneten Beispielen erlutert. Aber auch Prozessingenieure aus der Halbleiterfertigung oder Schaltungsentwickler finden hier Zusammenhnge mit und aus dem jeweils anderen Bereich, so dass das Verstndnis und die Zusammenarbeit fr- und miteinander verbessert werden kann: Jahrelange Erfahrung aus der industriellen Praxis zeigt, dass Entwicklung und Fertigung meist sehr isoliert vonein ander betrachtet werden. Die Entwurfsunterlagen (Designregeln und Simulationsparameter; s. Kapitel 10) bilden hufigdie einzige Schnittstelle zwischen den beiden Bereichen und das ist zu wenig, um in komplexen Schaltungen alle kritischen Randbedingungen zu erfassen.