MEMS in der Mikrosystemtechnik

Sie messen den Reifendruck, lsen in Millisekunden Airbags aus und helfen Autofahrern beim Einparken. Mit ihnen bestimmen Mediziner den Sauerstoffgehalt im Blut. In Spl- und Waschmaschinen stellen sie den Verschmutzungs- und Hrtegrad des Wassers fest. Sie sorgen dafr, dass winzige elektronische Bauteile auf den tausendsten Millimeter genau auf Leiter platten platziert werden. Vom Automobil ber hoch komplizierte Maschinen bis hin zur klini schen Medizin funktioniert kaum mehr etwas ohne mikrosystemtechnische Sensoren. Schon heute sind die ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (abgekrzt: MEMS) aus unserem tglichen Leben nicht mehr wegzudenken. Airbags, ABS- und ESP Systeme, Herz schrittmacher und Mobiltelefone sind nur einige Beispiele fr Produkte, in denen mikrotech nische Produkte eine entscheidende Rolle spielen. In eben dieser enormen Breite des Anwendungsspektrums liegt die besondere Bedeutung dieser Querschnitttechnologie - einer Knigsdisziplin der Mechatronik und der Mikrosystem technik. Dennoch vollzog sich in den letzten Jahren ein fundamentaler Wandel. Unter dem Oberbegriff der ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (oder MEMS) wird zusehends die Integration von Sensoren und Aktuatoren der Mechatronik, der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik unter Ausnutzung moderner Massenfertigungstechnologien verstanden. Dadurch erschlieen sich beraus attraktive Anwendungsmglichkeiten in den Bereichen Automobilelektronik, der Umwelt-, der Automatisierungs- sowie der Luft- und Raumfahrt technik. Hierbei kommt der ,,Mikromechatronik" - der Synthese aus Mikromechanik, Mikro elektronik sowie der Informations- und Kommunikationtechnik als kybernetisches System auf einem miniaturisierten Funktionstrger - eine bedeutsameSchrittmacherfunktion zu. Mehr und mehr wird die ,,Mikromechatronik" zur Grundlage fr innovative Produkte mit gesteiger ter Funktionalitt, hherer Zuverlssigkeit und besserer Wirtschaftlichkeit.