Mikrosystemtechnik
Mikrosystemtechnik
Brand
Springer Nature
Manufacturer
N/A
Part Number
0
GTIN
9783835190221
Condition
New
Product Description
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erlutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien fr Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die mglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflchenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezglich ihrer Kompatibilitt zur Mikroelektronik bewertet.
Available Colors
Available Sizes
1 Offer
Price Range: $39.99 - $39.99
Price Comparison
Seller | Contact Seller | List Price | On Sale | Shipping | Best Promo | Final Price | Volume Discount | Financing | Availability | Seller's Page |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
BEST PRICE 1 Product Purchase
|
$39.99 | $39.99 |
|
$39.99 | See Site | In stock | Visit Store |