Protonendotierung von Silizium

Name: Protonendotierung von Silizium
Brand: Springer Nature
SKU: 9783658073893
Availability: InStock

Best Price (Coupon Required):
Buy Protonendotierung von Silizium for $63.00 at @ Link.springer.com when you apply the 10% OFF coupon at checkout.
Click “Get Coupon & Buy” to copy the code and unlock the deal.

Set a price drop alert to never miss an offer.

1 Offer Price Range: $69.99 - $69.99

BEST PRICE

Single Product Purchase

$63.00

@ Link.springer.com with extra coupon

Price Comparison

Seller	Contact Seller	List Price	On Sale	Shipping	Best Promo	Final Price	Volume Discount	Financing	Availability	Seller's Page
BEST PRICE 1 Product Purchase @ Link.springer.com		$69.99	$69.99		10% OFF This deals requires coupon	$63.00		See Site	In stock	Visit Store

Product Details

Brand

Springer Nature

Manufacturer

N/A

Part Number

GTIN

9783658073893

Condition

New

Product Description

Johannes G. Laven beschreibt die Dotierung von kristallinem Silizium mittels Protonenimplantationen mit Energien im Bereich weniger Megaelektronenvolt. Hiermit knnen Dotierungsprofile in Tiefen zwischen Mikrometern bis weit ber 100 m erzeugt und modifiziert werden. Das hierzu notwendige, vergleichsweise niedrige thermische Budget macht derartige Dotierungsprofile insbesondere fr die Herstellung aktueller Leistungshalbleiterbauelemente interessant. Der Autor fhrt die Anforderungen und Grenzen der Protonendotierung aus und zeigt ein analytisches Modell zur Berechnung von Protonen-induzierten Dotierstoffprofilen in Abhngigkeit der Implantationsparameter sowie des thermischen Budgets.

Available Colors

N/A

Available Sizes

N/A